电液伺服缸

电液伺服缸是用于开环控制系统的伺服元件，它由步进电机、伺服阀、液压缸和反馈机构组成。

步进电机带动伺服阀芯和精密丝杠旋转一定角度，同时拖动阀芯向左位移，打开四边滑阀的阀口，使压力油通入油缸左腔，使活塞向右运动。活塞通过丝母、精密丝杠向右推动阀芯复位，切断油路，使活塞停止运动，完成一次指令动作。一次指令动作的脉冲数目越多，活塞运动的距离越长，脉冲信号的频率越高，活塞运动的速度越快。

电液伺服缸的脉冲当量可达0.01mm/脉冲，精度较高。可直接提供往复运动的动力，因而在某些情况下比电液伺服马达使用方便。