电液伺服马达

电液伺服马达是可用于开环控制系统的伺服元件，它由步进电机和液压扭矩放大器组成。它可将电气系统发出的脉冲信号转换成模拟量，经功率放大后输出液压扭矩，驱动执行机构严格地按照指令动作运动或进行精确定位，所以又称为电液脉冲马达或电液步进马达。

步进电机是将电脉冲信号转变为角位移的特殊电机。它旋转角度的大小与输入脉冲信号的数目成正比。转动的速度与输入脉冲信号的频率成正比。

液压扭矩放大器由伺服阀和液压马达组成。马达为斜盘式缸体旋转轴向柱塞马达。伺服阀是四边控制滑阀，阀芯在阀体内既能轴向移动，又能转动。阀芯左端螺纹与螺母配合，螺母两端有推力轴承，使它只能被马达轴的尾部带动旋转而不能轴向移动。当步进电机带动阀芯旋转时，阀芯在左端螺纹的作用下产生轴向位移，打开相应的控制阀口，使马达相应转动，此时螺母随着转动，并使阀芯复位，关闭阀口，使马达停止。

电液伺服马达惯性小、反应灵敏、输出扭矩大、运动精度高、工作可靠，广泛用于数控机床的开环控制系统。